LED外延片PL谱扫描成像仪/PL Mapping/PL谱仪

功能介紹

1. 检测外延片PL(光致发光)光谱和白光反射光谱。
2. 通过外延片PL光谱测量外延片逐点的:峰值波长(WLP)、主波长(WLD)、光谱半宽(HW)、积分光强(INT)、峰强度(PI)。
3. 通过白光反射光谱测量外延片逐点的:薄膜厚度(Thickness)和反射率(PR)。
4. 显示及输出各被测量参数的均值(Mean)、均方差(Std)、标准差率(CV)等统计结果,并以图形形式显示各项参数的Mapping分布。
5. 其他选配功能:
·  可选配多个激光器,最多可配4个激光器。
·  可配置测量各波长段(UV-VIS-NIR)DBR(分布布拉格反射)数据。
·  可配置外延片翘曲度测量功能。
·  可配置激光打标机。
·  可配置光功率传感器。(对应Photo Detector)

設備機型

IM-1130(移動機櫃手動型PL譜儀):IM-1130型PL譜儀采用可移動機櫃形式,方便操作,標准機型可測量2、4、6寸片,其中2寸片可一次測量4片,根據客戶需要可配置一次測量9個2寸片的載物台。
 
IM-2040(傾斜料倉2、4寸自動型PL譜儀):IM-2000全自動型PL譜儀是針對2、4寸片專門設計的自動機型。該型號設備使用標准cassette料盒爲載具,一次最多可放置3個料盒,共75片外延片。
 
IM-3000(雙臂機械手型PL譜儀)IM-3000雙臂機械手型PL譜選用柱坐標機械手自動取放片,自動正片,使用標准cassette料盒爲載具,共設有3個工位,一次最多可測75只外延片。